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中圖儀器NS200國產(chǎn)臺(tái)階儀采用接觸式表面形貌測量，對(duì)測量表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應(yīng)面廣，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用廣泛的微納樣品測量手段。

中圖儀器NS200臺(tái)階儀搭載線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），13μm量程下實(shí)現(xiàn)0.01埃分辨率，5Å超高解析力，精準(zhǔn)捕捉抗蝕劑臺(tái)階從納米級(jí)到1050μm的細(xì)微形貌，匹配光刻膠、抗蝕劑等精密材料的測量要求。